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记者克日从中科院上海微系统与信息手艺研究所获悉,该所信息功效质料国家重点实验室研究员谢晓明向导的石墨烯研究团队在国家重大专项“晶圆级石墨烯质料和器件基础研究”等项目的支持下,在国际上首次实现石墨烯单核控制形核和快速生长,乐成研制1.5英寸石墨烯单晶,相关研究效果在线揭晓于《自然—质料》。
铜外貌催化生长是现在制备石墨烯薄膜的主要手艺途径,但由于无法实现单核控制,因而制备的薄膜一样平常为多晶,且生长速率随着时间的推移逐渐变慢。此前铜衬底上制备的最大石墨烯单晶筹尺寸约为一厘米,且需要较长的生长时间。谢晓明研究团队通过向具有一定溶碳能力的Cu85Ni15合金局域提供碳源,爆发局部碳浓度过饱和,乐成解决了石墨烯单个焦点控制形核这一手艺难题。
据悉,该项目的合作团队美国得州州立大学的于庆凯团队使用同位素要领验证了等温析出这一石墨烯生长新机理;香港理工大学教授丁峰和华东师范大学博士袁清红团结开展了第一性原理盘算,进一步诠释了Cu85Ni15合金衬底上石墨烯高速生长的缘故原由,同时对更高Ni含量合金衬底上石墨烯生长速率下降的缘故原由举行了剖析。
谢晓明体现,单晶硅是微电子手艺生长的基石,而单晶石墨烯则是其在电子学领域规�;τ玫奶跫�。“通过单核控制制备晶圆级石墨烯可以视为是三维硅单晶手艺在二维质料中的再现,关于推动石墨烯在电子学领域的应用具有主要意义。”
专家以为,这项研究效果所生长的控制形核手艺同时也为探索其他二维质料单晶晶圆的制备提供了全新思绪。